石英玻璃液相合成技术

发布人:zz
方向:供应 | 发布时间:2010-02-05 09:23:19


合成石英玻璃主要应用在大规模集成电路的光刻工艺上,同时也是拉制通讯光纤必须的原料。 合成石英玻璃的原料是多晶硅行业的废弃料----四氯化硅。我国只有三家应用气相沉积法制造合成石英玻璃的企业,他们是:北京石英研究所、荆州菲利华石英玻璃及秦皇岛耀华石英科技。他们采用的工艺是气相沉积技术,所以产量低、产品中还含有很多羟基。我们所开发的石英玻璃液相合成技术从根本上解决了以上三家技术中所存在的难题。